產品應用 | 清潔

電漿清潔系統

    電漿清潔的優勢
    • 清潔/消毒不損傷基板
    • 能夠深入到微流體通道及非視線可見的區域
    • 不使用有害物質化學品,且不會有有機殘留物
    • 視製程需求,可選擇高蝕刻率或是輕微殘留物去除
    產品應用
    • 接合墊、基板、電路板表面、敏感性電子元件、玻璃及塑料的清潔
    • 光阻及殘留物去除
    • 有機及高分子聚合物去除
    • 有機物質去除
    • 氧化銅去除
    • 電漿表面活化
    • 粘合度改善
YES-RFS Series

手動電漿蝕刻及殘留物去除系統

YES-RFS Series
YES-G Series

500W及1000W並聯式電容電漿系統

YES-G Series
YES-ÉcoClean

低成本、佔地小全自動電漿蝕刻機

YES-ÉcoClean