產品應用 | 塗佈

單分子層塗佈

    HMDS化學氣相沉積 vs HMDS濕式製程
    • 均勻單分子層塗佈
    • 耐水性表面改質
    • 製程後穩定的介面
    • 提昇光阻附著力
    產品應用
    • 表面改質以提升附著力或疏水/親水性
    • 改善光阻附著力
    • 微機電抗黏滯層
    • 介於聚合物與基材之間的粘合層
    • DNA微陣列，DNA測序及微流體通道表面粘合層
    • 自組裝單分子層應用於選擇性沉積及選擇性去除製程
    • 金屬沉積前的種子層
YES-LabCoat

實驗室用矽烷單分子層沉積系統

YES-LabCoat
YES-ÉcoCoat

矽烷單分子層沉積系統包含電漿預清潔

YES-ÉcoCoat
YES-VertaCoat

全自動矽烷單分子層沉積系統

YES-VertaCoat