產品 | 清潔 ÉcoClean

YES-ÉcoClean

低成本、小尺吋全自動光阻及微殘留物去除電漿蝕刻機

YES - ÉcoClean系列產品優勢
  • 單片式全自動化製程,極小的佔地面積 (0.74m²)
  • 可生產50mm 到200mm的晶圓
  • 高去除率:100-100,000 Å/min (0.01 – 10 μm/min)
  • 最高每小時可產出65片晶圓
  • 較低的氣體使用量,且對環境友善
  • 游式電漿耦合,對晶圓表面有極小的傷害
  • 高可靠性(只有三個移動性的料件)
產品應用
  • 接合墊、基板、電路板表面、敏感性電子元件、玻璃及塑料的清潔
  • 光阻及殘留物去除
  • 有機及高分子聚合物去除
  • 有機物質去除
  • 氧化銅去除
  • 電漿表面活化
  • 透過改善高分子聚合物的效能達到更好的交叉鏈接