產品|塗佈ÉcoCoat

YES-ÉcoCoat

矽烷單分子層沉積系統包含電漿預清潔

YES - ÉcoCoat系列產品優勢
  • 良好製程參數的控制,低化學品使用量,穩定的製程
  • 製程結果可延伸至大量生產
  • 已開發出大於100種有機矽烷相關製程及矽烷、聚乙二醇和生物素
  • 40KHz or 13.56MHz的電漿預清潔可供選擇
產品應用
  • 表面改質以提升附著力或疏水/親水性
  • 改善光阻附著力
  • 微機電抗黏滯層
  • 介於聚合物與基材之間的粘合層
  • DNA微陣列,DNA測序及微流體通道表面粘合層
  • 自組裝單分子層應用於選擇性沉積及選擇性去除製程
  • 金屬沉積前的種子層