產品|塗佈ÉcoCoat
YES-ÉcoCoat
矽烷單分子層沉積系統包含電漿預清潔
YES - ÉcoCoat系列產品優勢
- 良好製程參數的控制，低化學品使用量，穩定的製程
- 製程結果可延伸至大量生產
- 已開發出大於100種有機矽烷相關製程及矽烷、聚乙二醇和生物素
- 40KHz or 13.56MHz的電漿預清潔可供選擇
產品應用
- 表面改質以提升附著力或疏水/親水性
- 改善光阻附著力
- 微機電抗黏滯層
- 介於聚合物與基材之間的粘合層
- DNA微陣列，DNA測序及微流體通道表面粘合層
- 自組裝單分子層應用於選擇性沉積及選擇性去除製程
- 金屬沉積前的種子層
