產品 | 清潔 – G系列

YES - G系列

500W及1000W並聯式電容電漿系統

YES - G系列產品優勢
  • 有效替代有毒化學品製程
  • 無表面溶劑殘留
  •  5重電漿模式,包含單一或是雙電漿模式
    • 非等向性:下游式,活性及反應離子刻蝕(RIE)
    • 等向性:活性離子及下游式離子
  • 可通3種混合氣(O₂, Ar or N₂ plasma)
  • 40kHz和13.56MHz二種頻率可供選擇
  • 406mm x 406mm四個層架設計
產品應用
  • 接合墊、基板、電路板表面、敏感性電子元件、玻璃及塑料的清潔
  • 光阻及殘留物去除
  • 有機及高分子聚合物去除
  • 有機物質去除
  • 氧化銅去除
  • 電漿表面活化
  • 生物醫學電漿消毒