產品|烘烤-PB系列

YES- PB系列

手動真空烤箱

YES- PB系列產品優勢
  • 三種尺吋可供選擇PB6(最多可放二個150mm的cassette),PB8(最多可放二個200mm的cassette)及PB12(最多可放二個300mm的cassette)
  • 釋氣及除濕氣製程
  • 預防釋氣
  • 封裝前去除微量殘留的氣體
  • 採用YES專有的製程能力去除殘留的氫氣和水分
  • 烘烤後擁有良好的附著力
產品應用
  • Polyimide,BCB及PBO烘烤
  • 晶圓接合退火製程
  • 最高400°C真空退火
  • 金屬沉積或物理氣相沉積(PVD)前的烘烤及釋氣