產品|清潔 RFS 系列

YES - RFS系列

人性化操作,具備良率提昇及高製程重覆性能力的電漿清潔系統

YES - CV200RFS系列產品優勢
  • 在光阻及高分子聚合物上有很高的去除率(6,000-7,000 Å/min)
  • 可應用於高去除率及微殘留物去除,且提升樣品表面品質
  • 下游式製程平衡了等離子體電荷,並保護免受紫外線的傷害
  • 精確的溫度控制,可提供一致且良好重複性的結果
  • 可提供4種製程氣體
產品應用
  • 接合墊、基板、電路板表面、敏感性電子元件、玻璃及塑料的清潔
  • 光阻及殘留物去除
  • 有機及高分子聚合物去除
  • 有機物質去除
  • 氧化銅去除
  • 電漿表面活化
  • 透過改善高分子聚合物的效能達到更好的交叉鏈接