產品|清潔 RFS 系列
YES - RFS系列
人性化操作，具備良率提昇及高製程重覆性能力的電漿清潔系統
YES - CV200RFS系列產品優勢
- 在光阻及高分子聚合物上有很高的去除率(6,000-7,000 Å/min)
- 可應用於高去除率及微殘留物去除，且提升樣品表面品質
- 下游式製程平衡了等離子體電荷，並保護免受紫外線的傷害
- 精確的溫度控制，可提供一致且良好重複性的結果
- 可提供4種製程氣體
產品應用
- 接合墊、基板、電路板表面、敏感性電子元件、玻璃及塑料的清潔
- 光阻及殘留物去除
- 有機及高分子聚合物去除
- 有機物質去除
- 氧化銅去除
- 電漿表面活化
- 透過改善高分子聚合物的效能達到更好的交叉鏈接
