產品|烘烤 TA系列

YES-TA Series

YES-310TA 及 YES-58TA HMDS 塗佈及烘烤系統

YES - TA Series系列產品優勢
  • 快速、均勻且具高經濟效益地將HMDS塗佈在晶圓表面,以提高光阻的附著力
  • 真空烘烤徹底使晶圓脫水,從而獲得優異的粘結力
  • HMDS層即使暴露在大氣中數週,仍然保持穩定狀態
  • 先進的控制系統,提供用戶可選擇製程溫度、時間及腔體的尺寸
  • 低化學品消耗量及低化學品成本
產品應用
  • 表面防潮及表面特性改善
  • 影像倒置
  • 提昇光阻附著力
  • 適合用於低溫的HMDS,特別是用在GaAs、LN(lithium niobite)及其它異質材料