產品|塗佈YES-VertaCoat

YES-VertaCoat

全自動矽烷單分子層沉積系統

YES-VertaCoat系列產品優勢
  • 高產出、低CoO的全自動設備,可一次生產50或100片晶圓
  • 可生產200mm及300mm的晶圓
  • 已開發出大於100種有機矽烷相關製程及矽烷、聚乙二醇和生物素
  • 可精確控制多達5種不同的化學品
  • 水平層流設計擁有良好的Particle表現
產品應用
  • 表面防潮及表面特性改善
  • 影像倒置
  • 提供後製程良好且穩定的介面
  • 提昇光阻附著力
  • 適合用於低溫的HMDS,特別是用在GaAs、LN(lithium niobite)及其它異質材料