產品|烘烤 VertaCure

YES-VertaCure

全自動真空Polyimide/BCB/PBO/低溫Polymers烘烤系統

YES-VertaCure系列產品優勢
  • 相較於大氣壓製程,VertaCure提昇了60%以上的產能
  • 相較於大氣壓製程,2到3倍較低的投資及生產成本。1.6到2倍較低的N2消耗量。大於98%機台使用率
  • 更完整烘烤製程能力(相較於大氣壓製程,5倍以上去除outgassing能力)
  • 5點控溫,可精準的控制在<1.0%
  • 層流設計擁有良好的Particle表現
  • 主動式加熱及冷卻,可調整昇降溫速率的設計
  • 一次可生產50或是100片的晶圓
產品應用
  • Polyimide,BCB及PBO烘烤
  • 晶圓接合退火製程
  • 最高400°C真空退火
  • 金屬沉積或物理氣相沉積(PVD)前的烘烤及釋氣